Boron11 trichloride halfgeleider dopant halfgeleider droog etsen
Product Introductie
Bij normale temperatuur en druk is boortrichloride (Bcl 3 ) kleurloos rookgas, dat brandbaar is, scherp, zure geur. Boor trichloride ontleedt in zoutzuur en boorzuur en laat veel warmte af met water, het genereert rook in natte lucht vanwege hydrolyse en Bcl 3 ontleedt in zoutzuur en boorzuurester in alcohol. Boor -trichloride heeft een sterk reactievermogen en kan een verscheidenheid aan coördinatieverbindingen vormen. Boor -trichloride kan reageren met glas en keramiek wanneer verwarmd, en het reageert ook met veel organische verbindingen om een verscheidenheid aan organoboronverbindingen te vormen. Hoge zuiverheid boron11 trichloride wordt voornamelijk gebruikt voor diffusiedoping in het productieproces van (silicium) halfgeleiderapparaten. Booronzuiverheden worden gegenereerd door ontleding van Bcl 3 en diffunderen naar silicium om P-type halfgeleider bij hoge temperatuur te vormen. Bcl 3 kan ook worden gebruikt voor droog etsen van AL, MOSI 2 , TASI 2 , TISI 2 , WSI en andere materialen.
Kwaliteitsspecificatie
|
items
|
Units
|
Index
|
|
Boron11 Trichloride≥
|
Vol.%
|
99.9995
|
|
Oxygen+Argon<
|
Vol.ppm
|
1
|
|
Nitrogen<
|
Vol.ppm
|
4
|
|
Ca
rbon monoxide<
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Carbon dioxide<
|
Vol.ppm
|
0.2
|
|
Methane <
|
Vol.ppm
|
0.5
|
|
Total impurity content≤
|
Vol.ppm
|
5
|
|
Metal ion
|
Vol.ppm
|
Supply and demand agreement
|
Sollicitatie
Boor trichloride kan worden gebruikt om een hoge pure boor te produceren, katalysator voor organische synthese, fluxagent voor silicaatontleding, en het wordt ook gebruikt als additief van deoxidizer, nitriden en carbiden bij het verfijnen van legeringen. Hoog zuiver boor11 -trichloride wordt voornamelijk gebruikt in diffusiedoping, ionenimplantatie, droge ets en andere processen in halfgeleiderapparaten en geïntegreerde circuitfabricage.
Verpakking en opslag
Boron11 -trichloride is in de cilinder gevuld. De cilinder gevuld met boor11 -trichloride voldoet aan de relevante bepalingen van GB14193. De verpakkingsspecificaties omvatten 10L en 47L. Het product wordt opgeslagen in een schaduwrijke, droge en geventileerde opslagplaats onder de 60 ℃ . Het is verboden om bloot te stellen aan de zon en blijft weg van warmtebronnen. Het pakket moet worden verzegeld en moet afzonderlijk worden opgeslagen met alkali en andere gevaarlijke artikelen.
Contact Now
